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手動晶圓烘焙熱板系統

    UNIXX HTp20型熱板是一款手動桌面型烘焙系統,采用手動PID控制器和定時器開關可確保高的溫度控制精度。用于晶圓的單面烘烤,可用于預烘烤(Pre-bake),前烘(soft bake),底膠涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(hardbake堅膜)工藝。

    更新時間:2022-11-24 16:55:31
  1. 詳細信息

產品簡介

UNIXX HTp20型熱板是一款手動桌面型烘焙系統,采用手動PID控制器和定時器開關可確保高的溫度控制精度。用于晶圓的單面烘烤,可用于預烘烤(Pre-bake),前烘(soft bake),底膠涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(hardbake堅膜)工藝。

產品特色

÷ 加熱板模塊(最高可達 300°C

÷ 氣動驅動支撐pin升降

÷ 支撐pin材料:不銹鋼,尖端采用 PEEK (最高 250°C

÷ 熱板通過真空固定晶圓

÷ 集成排煙裝置

÷ 熱板蓋手動控制

÷ 集成1x PID 控制器,用于在高測量時進行溫度控制

÷ 集成1x 定時器開關

技術數據

÷ 襯底尺寸最大可達 ?200 mm (? 8”)  200 x 200 mm (8 x 8 inch)

÷ 溫度區(qū)間最大可達 300°C*,  1°C 步進可調

÷ 溫度精度: 100°C  < ±1°C

÷ 提升銷(一套): ?50 mm (?2”) 最大可達 ?200 mm(?8”)  200 x 200mm (8 x 8 inch)

÷ 熱板表面由硬質陽極氧化鋁制成

÷ 加熱板蓋由微拋光不銹鋼制成

÷ 控制器單元: 1x PID控制器, 1x 時間開關

÷ Pin頂部 采用PEEK 材料最高溫度 250°C

可選項

÷ 支撐pin材料

÷ 邊緣支撐pin

÷ N2吹掃

÷ HMDS 熱板系統(六甲基二硅胺底膠蒸汽涂覆)

÷ 烘焙距離可調模組

÷ 真空泵

圖片32.png圖片33.png

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