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大尺寸濕法處理系統(tǒng)

    CHEMIXX 760系統(tǒng)是一款大尺寸濕法系統(tǒng),支持最大樣品達(dá)535X535mm(21寸方片),更大的樣品尺寸可定制,一臺(tái)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)清洗、蝕刻 、顯影 ,干燥整個(gè)工藝過(guò)程。

    更新時(shí)間:2022-11-25 17:35:42
  1. 詳細(xì)信息

n產(chǎn)品簡(jiǎn)介

 

CHEMIXX  760系統(tǒng)是一款大尺寸濕法系統(tǒng),支持最大樣品達(dá)535X535mm(21寸方片),更大的樣品尺寸可定制,一臺(tái)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)清洗、蝕刻 、顯影 ,干燥整個(gè)工藝過(guò)程。

 

n產(chǎn)品特色

 

÷ 基板尺寸高達(dá) 535 x 535 mm/21 x 21 inch

÷ 手動(dòng)裝載半自動(dòng)系統(tǒng)

÷ 兩個(gè)用于化學(xué)液輸送和機(jī)械清洗的電動(dòng)輸送臂

÷ 提供多種噴嘴,spray,puddle,噴霧,5孔碰頭等

÷ 低接觸或定制夾具

÷ 化學(xué)液具有加熱功能,最高 60°C (85°C) 

÷ 集成三種不同化學(xué)液供液系統(tǒng),外部液體罐可選

÷ 手動(dòng)灌裝或通過(guò)批量灌裝系統(tǒng)

÷ 工藝室外的手動(dòng)去離子水槍

÷ 去離子水室沖洗

÷ 系統(tǒng)前端的緊急停止按鈕

÷ 傳感器控制的 3 路排水系統(tǒng)可通過(guò)配方進(jìn)行編程。

÷ 帶有三個(gè)光區(qū)的信號(hào)燈,用于系統(tǒng)狀態(tài)的可視化

÷ 支持化學(xué)液清洗,兆聲清洗,PVA刷洗,吹干等工藝

÷ 滿足潔凈室等級(jí) 10 (ISO 4) 的一般設(shè)計(jì)

 

n技術(shù)數(shù)據(jù)

 

÷ 襯底尺寸最大可達(dá) 535 x 535 mm / 21 x 21 inch

÷ 電機(jī)轉(zhuǎn)速最大 3.000 rpm步長(zhǎng) 1 rpm

÷ 電機(jī)加速最大 2.000 rpm/s,步長(zhǎng) 1 rpm/s

÷ 步進(jìn)時(shí)間: 1  999.9 秒,步長(zhǎng)為 0.1 

÷ 工藝腔室材料 PP (可選 PVDF)

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